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求半導(dǎo)體晶圓熱處理,晶圓上不同位置間溫差最小的Matlab程序設(shè)計(jì)思路

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樓主
ID:605969 發(fā)表于 2019-9-1 10:49 | 只看該作者 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
半導(dǎo)體晶圓熱處理溫控Matlab編程程序
半導(dǎo)體晶圓的熱處理、光刻工藝中的烘烤操作、針對(duì)烘烤操作的溫度控制器、PI反饋控制、控制器的反饋信號(hào)是烘烤板溫度、最終使晶圓上溫度分布穩(wěn)定并達(dá)到指定溫度、要求晶圓上不同位置間溫度差最小、Matlab編程、可編程多區(qū)域熱處理系統(tǒng)的狀態(tài)空間模型
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沙發(fā)
ID:540100 發(fā)表于 2019-9-2 15:59 | 只看該作者
半導(dǎo)體晶圓熱處理,來(lái)錯(cuò)片場(chǎng)了吧
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